MX63/MX63L半導體/FPD檢查顯微鏡

產(chǎn)品簡介：MX63 和MX63L 顯微鏡系統(tǒng)支持檢測尺寸達300 毫米的晶圓、平板顯示器、印刷電路板以及其他樣品的質(zhì)量。

更新時間：2019-03-05
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表面表征

奧林巴斯工業(yè)顯微鏡
激光共聚焦顯微鏡光學數(shù)碼顯微鏡正/倒置金相顯微鏡原子力顯微鏡顯微分光測定儀體視顯微鏡半導體/FPD檢查顯微鏡測量顯微鏡圖像分析軟件偏光顯微鏡
奧林巴斯生物顯微鏡

DeltaPix 數(shù)碼顯微鏡
DPX M12000 數(shù)碼顯微鏡
奧林巴斯工業(yè)內(nèi)窺鏡
工業(yè)視頻內(nèi)窺鏡標準硬性管道鏡
日立掃描電鏡
日立電鏡制樣設(shè)備場發(fā)射掃描電鏡鎢燈絲掃描電鏡臺式掃描電鏡
光學測量

Ophir激光功率能量計

Optris紅外熱像儀

admesy光譜儀

admesy色度計
圖像采集

Deltapix相機
SWIR1.3DPX SWIR – Short-wave infrared cameras with InGaAs sensor technology COOL09DPX Cooled Microscope Camera with 9 Megapixel COOL07DPX Cooled Microscope Camera with 7 Megapixel Invenio 6EIII 6.3 Megapixel Microscope Camera Invenio 10EIII 10 Megapixel Microscope Camera Invenio 20EIII 20 Megapixel Microscope Camera Invenio 12EIII 12 Megapixel Microscope Camera
Lumenera&INFINITY工業(yè)和科研相機

Vieworks 工業(yè)相機

Qimaging 相機

圖像分析軟件

高速相機
高速軟件 i-SPEED7 i-SPEED5 i-SPPED2
光學鏡頭及其他附件

Prior電動載物臺

WDI自動聚焦系統(tǒng)
WDI IRLC近紅外激光掃描顯微鏡 WDI MMS模塊化自動聚焦顯微鏡 WDI ATF自動聚焦模塊
Navitar鏡頭

奧林巴斯物鏡

INSTEC冷熱臺

三豐物鏡

其他附件
Acktar鍍黑鋁箔探測器
OEM產(chǎn)品

冷熱臺

顯微變倍檢測

顯微探針臺

低溫凍融顯微系統(tǒng)

顯微拉曼光譜測試系統(tǒng)

顯微光電流測試系統(tǒng)

光纖波導耦合系統(tǒng)

手動探針臺

激光修補機

大尺寸顯微鏡

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設(shè)備租賃發(fā)布時間：2018-12-27
儀器維護發(fā)布時間：2018-12-27
樣品測試發(fā)布時間：2018-12-27
產(chǎn)品培訓發(fā)布時間：2018-12-27

詳細介紹

滿足電子行業(yè)需求

功能性

為滿足電子行業(yè)的人體工學和安全性要求而設(shè)計的附加功能以增強分析能力

人性化

簡潔的顯微鏡設(shè)置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松。

的成像技術(shù)

我們成熟可靠的光學器件和優(yōu)良的成像技術(shù)可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測。

模塊化

用戶可通過選擇適合其應(yīng)用的模塊進行系統(tǒng)定制。

的分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M行可靠的缺陷檢測。全新
照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結(jié)
果提供更多選擇。

從不可見到可見：MIX觀察與采集
通過暗場與明場、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀察樣品的表面紋理。

輕松生成全景圖像:即時MIA

利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動手動載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速地完成圖像拼接—電動載物臺無需該操作。奧林巴斯Stream軟件利用圖案識別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場。

生成全聚焦圖像:EFI

奧林巴斯Stream軟件的擴展聚焦成像(EFI) 功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像。EFI將這些圖像堆疊在一起生成單幅全聚焦樣品圖像。EFI配合手動或電動Z軸載物臺使用，可輕松生成結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。EFI圖像可在奧林巴斯Stream桌面軟件內(nèi)離線生成。

利用HDR采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

利用的圖像處理技術(shù)，高動態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，以減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生
成具有專業(yè)級的報告。

從基本測量到高級分析

測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要。基于這一想法，即便入門級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準完成?？纱蠓瓤s減重復性任務(wù)的處理時間，使操作人員的精力集中在檢測工作上。

高效的報告創(chuàng)建
創(chuàng)建報告所用的時間常常比采集圖像和測量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復雜的報告。編輯非常簡單，報告可導出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進行數(shù)碼變焦和倍率放大。報告文件大小適中，通過電子郵件進行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。

獨立相機選項
測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便入門級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準完成?？纱蠓瓤s減重復性任務(wù)的處理時間，使操作人員的精力集中在檢測工作上。使用DP22或DP27顯微鏡相機的MX63系列是一套的獨立系統(tǒng)。該相機采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒控制，在采集清晰圖像以及進行基本測量工作的同時讓實驗室空間得到充分利用。

直觀的顯微鏡控制：舒適且使用方便

顯微鏡設(shè)置操作簡單，讓用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置更加輕松。

快速尋找焦點：聚焦輔助

在光程內(nèi)插入聚焦輔助可以輕松無誤地實現(xiàn)諸如裸晶片之類低對比度樣品的對焦。在焦平面上的網(wǎng)格對焦讓您的樣品對焦更加簡單。

利用光強管理器和自動孔徑控制實現(xiàn)快速觀察

對于常規(guī)顯微鏡，使用者每次觀察都需要調(diào)整光強度和孔徑。MX63系列讓使用者能夠針對不同的倍率和觀察方法設(shè)定光強和孔徑條件。這些能夠輕松調(diào)用的設(shè)置即可幫助使用者節(jié)省時間又可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量。

人體工學設(shè)計實現(xiàn)更快、更舒適的操作

更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制器位于顯微鏡前面較低的位置，因此使用者在使用過程中無須松開對焦旋鈕或?qū)㈩^從目鏡上移開。

為質(zhì)量檢驗提供精細的光學性能和數(shù)碼成像技術(shù)

奧林巴斯研發(fā)高質(zhì)量光學器件和數(shù)碼成像技術(shù)的悠久歷史成就了具有卓越測量精度的
一系列可靠光學器件和顯微鏡。

卓越的光學性能：
波陣面像差控制

物鏡鏡頭的光學性能對于觀察圖像品質(zhì)和分析結(jié)論有著直接的影響。奧林巴斯UIS2高倍率物鏡可限度減小波陣面像差，從而獲得可靠的光學性能。

始終一致的色溫：
高強度白色LED照明

MX63系列采用高強度白色LED光源進行反射和透射照明。無論光強度如何，LED光源均可保持始終如一的色溫，從而實現(xiàn)可靠的圖像質(zhì)量和色彩復現(xiàn)。LED系統(tǒng)可提供非常適合材料科學應(yīng)用的高效率、長壽命照明。

測量：自動校準

與數(shù)碼顯微鏡類似，當使用奧林巴斯Stream軟件時可實現(xiàn)自動校準。自動校準有助于消除校準過程中的人為偏差，保證了更可靠的測量。自動校準采用的算法可根據(jù)多個測量點均值自動
計算正確的校準值。由此限度減小了因不同操作者所導致的偏差，并始終保持穩(wěn)定的精度，提高了常規(guī)驗證的可靠性。