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面板TEG prober

產(chǎn)品簡介：0.1um精度的直線電機平臺，全自動測試，超高的測試精度。

  • 更新時間：2019-07-14
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詳細介紹

面板TEG Prober
型號 TEG prober-G6 TEG prober-G8.5
外形 2850mm(寬)x2500mm(長)x2500 mm(高)  4000mm(寬)x3500mm(長)x2500 mm(高)
重量 約9700KG 約14200KG
電力需求          380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max
可測試液晶屏尺寸 長寬≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm 長寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm
平臺功能 Gantry結(jié)構(gòu)  龍門式，可以選擇雙龍門
X-Y-Z軸運動行程 1850*1500 *58mm(X-Y-Z)  2500 *2200*58mm(X-Y-Z)
X-Y運動速度 0~600mm/s可調(diào) 探針規(guī)格 針卡 兩套，可同時測試兩個patten
X-Y精度(小移動量) 0.1um Pitch范圍：定制 
X-Y重復(fù)定位精度 ±1um 探針材質(zhì)：鎢or鈹銅等
X-Y 軸驅(qū)動 直線電機+光柵尺 工作模式：可以單獨測試，或者兩個針卡一起測試。兩個針卡間的相互距離可調(diào)。
Z 運動速度 0~10mm/s可調(diào)
Z精度 0.25um 探針和TEG對位方式 坐標定位
Z重復(fù)定位精度 ±1um 測試過程中的二次視覺檢測
Z軸驅(qū)動 伺服電機+光柵尺 探針和TEG的接觸方式 自動接觸
Z軸保護 電機自鎖+機械限位保護 探針自動保護功能:edge sensor 和機械限位，可以根據(jù)panel厚度設(shè)定限位高度，點針的OD值可設(shè)。
樣品臺平整度 ±50um平整度 
樣品臺涂層 防靜電涂層
樣品臺高低溫  Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃)
光學(xué)特性 光路系統(tǒng)倍率：  5X ,10X ,20X，50X  Objects  探針軸旋轉(zhuǎn)行程 ±90°
放大倍率范圍50X~ 500X  探針旋轉(zhuǎn)精度 0.01°
聚焦 自動聚焦 旋轉(zhuǎn)重復(fù)定位精度 0.03°
CCD 200/500萬像素工業(yè)相機 探針清潔 自動清針
光源 面背光、點背光、上光源 清潔后自動測針
光源亮度獨立可調(diào)，面背光可選擇分區(qū)控制 探針臺漏電精度（安裝針卡的情況） 100fA 以內(nèi)（測試標準：給針卡任意針腳加壓—5V~+5V，在不吹N2的情況下，空載測試漏電流<100fA）吹氮氣N2輔助干燥(Recipe 可以設(shè)置是否開啟N2且N2測試報告體現(xiàn)開N2與不開N2區(qū)別)
激光特性（選件） 激光系統(tǒng) 激光切割系統(tǒng)（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz)
0-100%
激光波長 1064nm，532nm，355nm
光斑尺度 1.0um @100X  object 測試能力 測試系統(tǒng) 兩套
2.0um @50X  object 半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng):2*HRSMU+4*MPSMU+CV 測試單元+高精度矩陣開關(guān)等
工作模式 One Shot/Burst/Continue
形狀 可調(diào)節(jié)的矩形 TFT測試項目 Ion
控制 工作模式 自動測試，CIM通訊，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動導(dǎo)入和輸出 Ioff
Vth
上下片 機械手或者流水線 Mobility
CIM系統(tǒng) 有 Swing
減震 被動式減震系統(tǒng)，能夠確保點針測試的穩(wěn)定性 Resistance測試項目 Rs
工業(yè)PC 23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊 Rc
(其中一塊為備份硬盤)，8G內(nèi)存，1G獨立顯卡 輸送電壓 ±200V
通訊接口 RS232/485/TCP/IPGPIB等 輸送電流 ±1A
安全 整機帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作 電流測試分辨率 1fA（無需前置放大器）
緊急開關(guān)EMO 電壓測試分辨率 0.5uV 
限位sensor，運動平臺和探針系統(tǒng)限位互鎖 CV 測試頻率范圍 1kHz~5MHz
Interlock報警，自動關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選)  接地單元電流宿能力 4.2A GNDU
應(yīng)用方向 OLED/TFT-LCD Panel TEG 電學(xué)測試
 
特點：
業(yè)界快的測試速度 超高的測試精度
穩(wěn)定的測試結(jié)果 mult-probe card設(shè)計
0.1um精度的直線電機平臺 自動清針，自動測針
極小的針痕損傷 全自動測試

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