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綜合型分析探針臺

產(chǎn)品簡介：可用于12英寸以內(nèi)樣品測試。

  • 更新時間：2019-07-14
  • 瀏覽次數(shù)：2735

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詳細介紹

綜合型分析探針臺
型號 SH-6 SH-8 SH-12
外形 820mm長*720mm寬*890mm高 960mm長*850mm寬*900mm高 1300mm長*920mm寬*920mm高
重量 170公斤 約230公斤 約300公斤
電力需求 220VC,50~60Hz
樣品臺 尺寸 6英寸，可360度旋轉(zhuǎn) 8英寸，可360度旋轉(zhuǎn) 12英寸，可360度旋轉(zhuǎn)
行程 X-Y行程6*6英寸 X-Y行程8*8英寸 X-Y行程12英寸*12英寸
移動精度 1um
樣品固定方式 真空吸附
背電極測試功能 有，樣品臺電學獨立懸空
針座平臺 規(guī)格 U型平臺，多可放置6個針座 U型平臺，多可放置10個針座 U型平臺，多可放置12個針座
行程&調(diào)節(jié)方式 平臺可以快速升降，行程 6mm,并帶自動鎖定功能;可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um
光學特性  顯微鏡行程 X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm
顯微鏡移動精度 1um
切換鏡頭方式 顯微鏡快速傾仰30度    
放大倍數(shù) 20~4000X
鏡頭規(guī)格 目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配）
CCD像素 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
點針規(guī)格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
機械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
漏電精度 10pA/100fA     （配置屏蔽箱時）
接口形式 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口
應(yīng)用方向 晶圓測試，光電器件測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試，高壓/大電流測試等
可選附件 卡盤快速拉出裝置 加熱臺 光強/波長測試選件
顯微鏡傾仰裝置（傾仰30度） 高低溫樣品臺 射頻測試附件
顯微鏡氣動升降裝置 屏蔽箱 有源探頭
激光微加工 轉(zhuǎn)接頭 低電流/電容測試
探針卡夾具 防震臺 兼容積分球測試選件
顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 鍍金卡盤 光纖夾具耦合測試選件
液晶熱點偵測套裝 同軸叁軸卡盤 封裝器件夾具
高壓/大電流測試套裝 樣品臺快速升降，微調(diào)升降裝置選件 PCB/封裝夾具測試選件
帶真空底座的活動Chuck 樣品臺旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件 特殊定制
 
特點
穩(wěn)定的結(jié)構(gòu) 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動
針座平臺可快速升降和微調(diào)，適合針卡測試 大手柄驅(qū)動，操作舒適，無回程差設(shè)計
兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動 芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試
高等院校/研究所/公司實驗室使用 LD/LED/PD的光強/波長測試
可用于12英寸以內(nèi)樣品測試 材料/器件的IV/CV特性測試

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